Halbleiter

Schnelle ALD-Verarbeitung

Sioux kümmerte sich um die Bewegungssteuerung, Materiallogistik, Maschinensteuerung, Algorithmen, Kalibrierung und GUI.

Solaytecaldopen

SoLayTec produziert, entwickelt, liefert und wartet Maschinen für die besonders schnelle räumliche Atomlagenabscheidung, eine vielversprechende Technologie für ultradünne Al2O3-Passivierungsschichten auf Solarzellen.

Die Herausforderung des Kunden

SoLayTec ist eine Abspaltung von TNO. Die Produktionsmaschine von SoLayTec implementiert eine sogenannte räumliche ALD-Verarbeitungstechnik, bei der Solar-Wafer in einem Luftbarrierefeld hin und her transportiert werden. Bei jedem Durchgang wird genau eine Atomschicht abgelagert.

Der Beitrag von Sioux

Sioux entwickelte die komplette Software-Suite für die SoLayTec-Produktionsmaschine. Dies umfasst Bewegungssteuerung, Materiallogistik, Maschinensteuerung, Algorithmen, Kalibrierung und GUI.

Ergebnis

Die ersten Produktionsmaschinen laufen nun bei verschiedenen Kunden.

Technologie

Windows, C#, modellgetriebenes Softwaredesign, Beckhoff TwinCAT, EtherCAT und Expression Blend.